Ротор Систем
Снажно језгро суве вакуум пумпе је прецизно постављен роторски склоп, који се обично састоји од два до три спирална ротора или ротора{0}}у облику канџе. Ови-метални ротори високе прецизности спајају се један са другим са зазорима у микронском-нивоу, користећи контра{4}}ротацију за покретање гаса од улазног отвора ка издувном отвору. Јединствени дизајн профила ротора-као што су еволвентни или кружни лучни профили-одређује ефикасност пумпања; брзине ротације могу да достигну 3.000–6.000 о/мин, а једностепени{12}}однос компресије може да пређе 10:1.
Заптивна структура
За разлику од пумпи{0}}заптивених уљем, суве пумпе одржавају интегритет вакуума помоћу трослојног-заптивног механизма:
Лавиринтске заптивке: Вишестепени, вијугави канали који се налазе на крајевима ротора користе отпор протока ваздуха да блокирају цурење.
Гасна баријера: Инертни гас се убризгава у критичне зазоре да би се створила пнеуматска баријера притиска.
Специјализовани премази: Површине ротора су обложене материјалима као што је ПЕЕК (полиетер етар кетон), који обезбеђује и отпорност на хабање и смањен коефицијент трења.
Ове карактеристике дизајна одржавају стопу цурења испод 0,5 Па·м³/с, чиме испуњавају строге захтеве за чистоћом у индустријама као што је производња полупроводника.
Модул за хлађење: „Чувар температуре“ за континуирани рад
Због одсуства подмазивања{0}}на бази уља, суве пумпе захтевају интелигентан систем управљања топлотом:
Ваздушно хлађење: Ребра за расипање топлоте од алуминијумске легуре упарене са центрифугалним вентилатором расипају до 60% произведене топлоте.
Водено хлађење: Унутрашња бакарна{0}}цифра за циркулацију воде обезбеђује ефикасност размене топлоте која је три пута већа од оне код ваздушног хлађења.
Фаза{0}}Промена хлађења: Одређени модели користе технологију топлотних цеви, постижући стопу топлотне проводљивости до 100 пута већу од оне код чистог бакра.
